场发射扫描电镜

1.设备主要用途

场发射扫描电子显微镜主要用于观察、分析和记录材料的微观形貌，以及可以通过配备EDS能谱仪进行材料元素的成分分析。

2.设备技术规格要求

2.1电子光学系统

2.1.1 二次电子分辨率：0.9nm@15KV，1.3nm@1kV（非样品台减速模式下）；

2.1.2 放大倍率：10-1,000,000倍,根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准，低倍率与高倍率无需任何模式更换；

2.1.3 电子枪：肖特基热场发射电子枪；

2.1.4 加速电压或着陆电压范围：0.02kV～30kV，步进10V，连续可调；

2.1.5 探针电流：3pA-20nA

2.1.6 电子光路具备色差校正设计，在低电压下高分辨观察性能，能够直接观察不导电样品；

2.1.7 镜筒内具有特殊设计，能够保证样品室内无漏磁，可对铁磁性和易磁性材料进行2mm内短距离高分辨成像；

2.1.8 束流稳定性:优于0.2%/h,抗噪声性能优于1%/h；

2.1.9 分析工作距离：35º出射角时分析工作距离8.5mm

2.2样品室

*2.2.1 抽屉式拉门；样品室内内部直径365mm；

*2.2.2 配置五轴优中心马达驱动样品台，移动最大范围指标：X=125mm，Y=125mm，Z=50mm，双向倾斜，倾斜范围-10ºto90º,360°连续旋转；

2.2.3 配置马达台快捷控制器、多功能旋钮操作控制面板；

2.2.4 配置9孔样品座；

2.2.5 预留能谱仪、背散射电子衍射等常用附件接口和软件通讯接口；

2.2.6 最大可载样品重量500g；

2.2.7 样品触碰极靴告警；

2.3探测器

2.3.1 样品室内二次电子探测器；2

2.3.2 安装在镜筒内正光轴上高分辨In-Lens二次电子探测器；

2.3.3 样品室内独立的背散射电子探测器；

2.3.4 原厂标配样品室内CCD相机。

2.4真空系统

2.4.1 无油磁悬浮涡轮分子泵，250升每秒；离子泵，维持发射区域超高真空；

2.4.2 前级无油机械泵，10立方米每小时；

2.4.3 样品室真空度：优于3×10-4Pa，电子枪真空度：10-7Pa数量级；

2.4.4 全自动真空系统，完全气动阀自动控制；

2.5数字图像记录系统

*2.5.1 单张图片最大图像存储分辨率32k×24k像素；

2.5.2 图像显示不小于1024×768像素，配置主流品牌液晶显示器，尺寸不小于24寸；

2.5.3 图像记录格式：TIFF、BMP或JPEG；

2.5.4 基于网络架构的数据传输系统；

2.5.5 计算机系统配置不低于：Intel2.33GHz；16GB内存；1TBS-ATA3.0硬盘；独立显卡；DVD刻录机；

2.5.6 Windows操作系统；

2.5.7 可自动调节：电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿；

2.6能谱探测器

2.6.1 探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，40mm2有效面积，超薄窗设计,无需液氮冷却，仅消耗电能。

2.6.2 能量分辨率：MnKa保证优于129eV,元素分析范围:Be4～Cf98。

2.6.3 圆形对称芯片，最大程度地减少低能端的能量损失

2.6.4 FET场效应管同阳极独立封装，避免X射线的轰击

2.6.5 谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，MnKa峰谱峰漂移小于1eV，分辨率变化小于1eV,48小时内峰位漂移小于1.5eV

2.6.6 具备零峰修正功能,可以快速稳定谱峰,开机后无需重新修正峰位。

2.7背散射电子衍射仪

2.7.1 高速低噪音CMOS相机，分辨率1244*1024，并能够与各主流型号电镜良好配合；

2.7.2 EBSD在线解析标定速度不低于600pps，此时花样分辨率仍能保持为312*256；

2.7.3 电子图像分辨率高达8192*8192，EBSD面分布图分辨率高达4096*4096；

2.7.4 取向精度0.05

2.7.5 独有的接近传感器，保护EBSD探测器前端，在碰撞接触前就探测并预警，

2.7.6 探测器插入退出，最快速度：15mm/s，精度：<10μm；

2.7.7 应用软件采用多任务设计，可以同时并行数个任务，并支持分屏显示及远程控制。操作软件完全与能谱仪软件一体化，可进行EBSD晶体取向分布分析。可根据能谱数据对EBSD花样进行预过滤，实现对未知相的相鉴定（PhaseID），实现能谱EBSD同时联机分析且不降速；

2.7.8 能对所有对称性（从三斜到立方）晶体材料的EBSP花样进行自动化的标定，且各相的反射面可以独立选择，并可以进行带宽修正，也可以对衍射带边缘及中间进行标定；

2.7.9 配置HKL标准数据库和ICSD海量晶体学数据库，数据容量不小于5万种，已经滤掉伪

对称数据；

2.7.10 采用最优化的Hough变换，多条带标定方法（最多可以用12根菊池带进行标定），根

据平均角度偏差MAD结构因子进行完全自动化的菊池带识别和花样标定；

2.7.11 配有64位后处理软件包，和采集软件一体化风格，方便高效，包含且不限于如下功能：

（1）晶粒度统计（2）晶界分析（3）物相鉴定（4）极图和反极图分析（5）可自动剥离形变和再结晶区；

2.7.12 配有专用的高精度标定模式，实现更高角度分辨率的标定。

3.主要技术参数